【48812】至纯科技：现在湿法设备在28纳米节点现已全掩盖 且全工艺机台均有订单
时表明，公司一向跟动客户进行研制制作，现在湿法设备在28纳米节点现已全掩盖，且全工艺机台均有订单，在更先进制程节点也已获得部分工艺订单。单片硫酸设备为湿法设备中难度最高的工艺机台，公司S300SPM机台已交交给多家国内干流晶圆厂，并现已应用于国内头部客户的12英寸逻辑量产线万片次以上。单设备在用户量产线万片次，是为高阶湿法设备国产代替进口的重要里程碑。现在公司是国内单片硫酸设备到达上述单机台量产目标的仅有厂商。
时表明，公司一向跟动客户进行研制制作，现在湿法设备在28纳米节点现已全掩盖，且全工艺机台均有订单，在更先进制程节点也已获得部分工艺订单。单片硫酸设备为湿法设备中难度最高的工艺机台，公司S300SPM机台已交交给多家国内干流晶圆厂，并现已应用于国内头部客户的12英寸逻辑量产线万片次以上。单设备在用户量产线万片次，是为高阶湿法设备国产代替进口的重要里程碑。现在公司是国内单片硫酸设备到达上述单机台量产目标的仅有厂商。